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产品先容

PF-300M为艾弗森贝博ballbet官网自主研发的串联高产能平台。PF-300M 系列产品可搭载 5 个反应腔，知足客户对差别工艺和膜厚的高效需求。该平台兼容PECVD高端产品pX、Supra-D，以及PEALD Astra反应腔。PF-300M Supra-D 系列产品是面向先进制程的新一代高端产品，接纳全新的自力腔室设计，以优异的薄膜稳固性、匀称性、颗粒度体现实现更严酷的工艺指标要求。

产品特点
- 串联的高产能平台
- 可搭配多个反应腔，实现产能的优化设置
- 颗粒度体现优异
- 通过S2清静认证和F47标准磨练