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VS-300T Astra-s 是一款紧凑量产型PEALD（等离子增强原子层沉积）装备，接纳五边形平台，可搭载4个反应腔，具有优异坪效比及 CoO。产品可沉积高质量 SiO（氧化硅）、SiN（氮化硅）、TiO（氧化钛）等介质薄膜，在薄膜匀称性、保形性和颗�？刂颇芰Ψ矫娴执锕氏冉�，知足先进逻辑、存储等手艺节点的量产需求。

产品特点
      - 优异的薄膜匀称性及颗�？刂颇芰�
      - 高深宽比（20:1）结构下台阶笼罩率95%以上
      - 五边形紧凑平台，可搭载4个自力反应腔
      - 通过 S2 清静认证和 F47 标准磨练

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